光學(xué)視頻接觸角測量儀在半導(dǎo)體晶圓玻璃面板的應(yīng)用

水滴角測量儀/接觸角測量儀的算法必須能夠?qū)崿F(xiàn)修正重力影響條件下準(zhǔn)確分辨左、右角度值的能力。水滴角測量儀或接觸角測量儀自20世紀(jì)70年代開始生產(chǎn)，且實(shí)現(xiàn)了很好的銷售業(yè)績。

利用水表面張力靈敏度非常高的特性，通過左、右角度偏差值以及水接觸角的變化范圍，定義材料表面的清潔度，分析等離子清洗（Plasma）效果。

 
 
特別指出的是，如上所述，重力會影響水滴角的測量。通常而言，量角器法的水滴角測量儀或接觸角測量儀是通過控制進(jìn)液的精度想達(dá)到實(shí)現(xiàn)或提升重復(fù)性的目標(biāo)，控制的液滴量通常為2uL左右。但是，即使是2uL，此時仍然存在重力影響，測值結(jié)果仍然與真正的Young-Laplace方程擬合算法得出的數(shù)據(jù)不一致的。且，通過而言，除非采用噴射針頭，其他的針頭進(jìn)液方法均需要通過移液，即將水滴接觸到固體樣品后，利用固體的表面張力將水滴吸下去。正是由于固體表面張力不同，很難確保終滴下的液滴量是*一致的。需要注意的是，沒有一致的兩個液滴的，也不能說0.1uL誤差就會導(dǎo)致不受重力影響了。
 
更值得注意的是，測試水滴角值時，我們需要利用左、右角度變化以及測值精度的偏差來判斷清潔度，兩個數(shù)據(jù)是綜合起來運(yùn)用的。因而，通過滴多個液滴并評估水滴角多個值的變化事實(shí)上已經(jīng)是非常效率低下，準(zhǔn)確度不高的技術(shù)了。